基于多维度的晶体管检测图像矫正及优化方法

本发明提出了一种基于多维度的晶体管检测图像矫正及优化方法，方法包括：选择晶体管检测图像中的稳定特征点，基于稳定特征点利用几何校正模型计算变换矩阵，利用变换矩阵消除图像中的几何失真，获得矫正后的图像；基于矫正后的图像利用暗场照明法获取突出晶体管表面缺陷和纹理的暗场图像，利用亮场照明法获取晶体管整体形态和结构信息的亮场图像，将暗场图像和亮场图像进行融合，生成检测图像；检测检测图像中的时域噪声，利用滤波算法对检测到的时域噪声进行平滑处理；基于FPGA对处理后的检测图像进行高速并行处理。本发明利用FPGA的高速并行处理能力，本发明能够实现对检测图像的快速处，提高了处理速度和效率。