真空处理装置

本发明提供一种真空处理装置，在搬送机器人将试样向试样台搬送时，能够使工作台所具有的试样载置面的基准坐标与试样的中心坐标高精度地一致。本公开的真空处理装置测量搬送到真空试样室内的试样的外缘的位置，根据测量出的所述外缘的位置，将试样台移动至搬送到所述真空试样室内的所述试样的下方。