摘要
本发明公开了一种基于老化测试的芯片测试设备,涉及芯片制造技术领域。本发明包括两个变温室,两个所述变温室之间固定安装有同一个恒温室,所述变温室的内部均设置有放置盘,两个所述放置盘由上至下交错设置,所述放置盘的顶部和底部均开设有多个均匀分布的电路板槽,所述电路板槽用于放置装载有待测芯片的电路板,所述变温室的一侧均固定安装有变温气体罐。本发明通过设置交换组件,使得两组电路板、芯片分别受到降温和加热处理,交换组件带动两个放置盘进入另一侧的变温室中进行第二轮温度测试,使芯片在高低温之间快速切换,测试芯片在极端温度、高压状态或潮湿环境下的工作状态,并使芯片在极端温度变化中快速老化,实现批量化老化测试。
技术关键词
芯片测试设备
气密隔板
恒温室
导向托架
电路板
气密阀门
清洗盘
驱动架
紧固组件
联动杆
控制杆
插接端子
转向臂
输气管
清洗器
推杆
抽气泵
齿条
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