一种远程等离子体源工作点判断方法、装置、设备和介质

本发明涉及等离子体技术领域，具体涉及一种远程等离子体源工作点判断方法、装置、设备和介质。通过根据第一质谱图和第二质谱图计算得到质谱解离率；根据光谱图计算得到光谱解离率；再基于初始先验高斯分布模型对质谱解离率和光谱解离率进行修正计算，以得到修正解离率；当修正解离率满足工艺需求解离率，则根据光谱图和预设的发射峰高度阈值计算得到实际反应速率；当实际反应速率等于反应速率阈值，则生成达到工艺工作点的反馈信号；通过利用质谱数据与光谱数据实时互校验，克服单模态检测精度与工艺兼容性矛盾，减少信号衰减、干扰、峰重叠等误差，显著提高解离率检测可靠性，同时，结合修正解离率与实际反应速率判断工作点，增强稳定性控制，提升工艺精度与成品率。