一种可调谐激光器结构及其测温方法

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一种可调谐激光器结构及其测温方法
申请号:CN202510440838
申请日期:2025-04-09
公开号:CN120300592A
公开日期:2025-07-11
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种可调谐激光器结构及其测温方法,可调谐激光器结构中,光栅按预设周期间隔排列在多量子阱有源区上,解理区位于多量子阱有源区的侧面并与多量子阱有源区相邻;加热电阻、加热电极和脊波导位于多量子阱有源区对应的上方位置,第一电阻位于脊波导上,第二电阻位于解理区对应的上方位置;有源区电极与脊波导电连接,加热电极与加热电阻电连接,第一电阻与第一电极电连接,第二电阻与第二电极电连接。本发明通过在脊波导和解理区内分别设置测温电阻,提高测温精度和控温精度;同时设置两个测温电阻的尺寸和材料相同,进一步提高测温精度;另外设置第二电阻位于解理区内,提高对有源区温度变化趋势的反映及时性,提高测温精度。
技术关键词
可调谐激光器 多量子阱有源区 测温方法 加热电极 测温电阻 结温 波导 电信号 测温电极 数据拟合模型 电极组 外延 算法 光栅
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