快恢复二极管的制作方法、快恢复二极管及电子设备

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快恢复二极管的制作方法、快恢复二极管及电子设备
申请号:CN202510441926
申请日期:2025-04-09
公开号:CN120302652A
公开日期:2025-07-11
类型:发明专利
摘要
本申请提供一种快恢复二极管的制作方法、快恢复二极管及电子设备,涉及半导体芯片技术领域。快恢复二极管的制作方法包括:提供一器件结构,器件结构包括衬底、位于衬底一侧的氧化层及位于氧化层远离衬底一侧的第一金属层;在第一金属层远离衬底的一侧形成保护层;对衬底远离第一金属层的一侧依次进行减薄处理和腐蚀处理;去除保护层;在衬底远离第一金属层的一侧进行金属蒸镀,形成第二金属层,如此,可以在减薄过程中减少快恢复二极管与减薄设备之间的摩擦,从而减少静电的产生,避免测试过程中出现打火现象,进而提高生产效率。
技术关键词
二极管 器件结构 衬底 半导体芯片技术 电子设备 揭膜机 氧化层 打火现象 冰乙酸 绝缘材料 氢氟酸 保护膜 光刻 硝酸 静电 加热
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