摘要
本申请提供一种快恢复二极管的制作方法、快恢复二极管及电子设备,涉及半导体芯片技术领域。快恢复二极管的制作方法包括:提供一器件结构,器件结构包括衬底、位于衬底一侧的氧化层及位于氧化层远离衬底一侧的第一金属层;在第一金属层远离衬底的一侧形成保护层;对衬底远离第一金属层的一侧依次进行减薄处理和腐蚀处理;去除保护层;在衬底远离第一金属层的一侧进行金属蒸镀,形成第二金属层,如此,可以在减薄过程中减少快恢复二极管与减薄设备之间的摩擦,从而减少静电的产生,避免测试过程中出现打火现象,进而提高生产效率。
技术关键词
二极管
器件结构
衬底
半导体芯片技术
电子设备
揭膜机
氧化层
打火现象
冰乙酸
绝缘材料
氢氟酸
保护膜
光刻
硝酸
静电
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