摘要
本发明提供一种Micro‑LED微显示屏及其制备方法,其中制备方法包括:制备Micro‑LED芯片;在Micro‑LED芯片的表面制备第一树脂层;提供第一基板,在第一基板的表面制备第二树脂层;键合Micro‑LED芯片和第一基板制成一次转移芯片,第一树脂层和第二树脂层键合形成高分子固封层;去除生长衬底,暴露出N型半导体层的第二面;提供第二基板,将第二基板与N型半导体层的第二面键合;去除高分子固封层和第一基板暴露出N型半导体层的第一面,制成二次转移芯片;提供CMOS驱动基板,将二次转移芯片与CMOS驱动基板对准键合,完成Micro‑LED微显示屏的制备;还包括在暴露出的N型半导体层的第一面或第二面排布金属导线。本发明能够提高Micro‑LED微显示屏的亮度均匀性,提升图像显示质量。
技术关键词
LED微显示屏
驱动基板
像素阵列
生长衬底
LED芯片排列
半导体层
机械剥离法
导线
晶圆
电极
透光率
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亮度
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