平坦化设备和制品制造方法

本发明涉及一种平坦化设备，其包括多个处理器，所述多个处理器包括第一处理器和第二处理器并且被构造成在所述处理器中的每一个中执行基板的平坦化处理。第一处理器布置在第一输送机器人对基板和平整构件中的一者的输送范围内，该第一输送机器人布置在装载单元与调节器之间的输送路径上并且被构造成输送基板和平整构件中的一者。第二处理器布置在第二输送机器人对基板和平整构件中的一者的输送范围内，该第二输送机器人布置在调节器与供应器之间的输送路径上并且被构造成输送基板和平整构件中的一者。本发明还涉及一种制品制造方法。