摘要
本发明涉及一种焦面探测系统及方法,包括第一透镜组、分光镜、焦面探测模块、第二透镜组和数字相机感光芯片,且焦面探测模块包括共轭透镜组、标记物和照明聚光镜,标记物的投影经第一透镜组投影到倾斜物面,使得倾斜物面上带有标记物的特征,带有标记物投影特征的物体反射的光经第一透镜组和分光镜进入第二透镜组,只存在一个位置使得倾斜标记物投影与理想焦面存在相交,倾斜投影其他位置均不相交处于离焦状态。主光路数字相机感光芯片将获取的数字图像信号传输到计算机中进行图像处理,进行图像清晰度评价,以计算倾斜投影图像与理想焦面相交的位置,并据此进行调焦。
技术关键词
分区
透镜组
数字相机
分光镜
重建误差
倾斜投影图像
投影光路系统
聚光镜
探测系统
位置映射关系
标记
图像清晰度评价算法
图像处理
芯片
倾斜物面
编码
照明
图像特征提取
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分区
多层堆叠封装
热控
表面形貌数据
半导体芯片
边缘强化吹塑面板
温度分布控制方法
分区
模具温度场
机器学习模型
统计评估方法
协方差矩阵
仿真模型
对象
协方差估计
工业互联网
分区功能
分区策略
Kafka集群
业务逻辑设计