一种声表面波器件横向模仿真的精确计算方法

本发明属于滤波器技术领域，具体涉及一种声表面波器件横向模仿真的精确计算方法；该方法包括：构建初始横向模抑制结构模型；对初始横向模抑制结构模型进行光刻计算仿真；获取光刻仿真后的形貌轮廓；建立基于形貌轮廓的有限元模型；根据有限元模型，使用有限元仿真技术对横向模抑制结构进行仿真，得到横向模仿真结果；将横向模仿真结果与目标器件的性能要求进行对比；根据对比结果优化指条的宽度、周期和形貌特性等结构参数，进一步提高声表面波器件的横向模抑制效果；本发明提高了横向模仿真与实测结果的一致性，减少设计与制造之间的调试时间和成本，提高了声表面波器件的横向模抑制效果。