晶圆抛光面型控制方法及其模型训练方法、以及相关装置

本申请公开了一种晶圆抛光面型控制方法及其模型训练方法、以及相关装置，其中，晶圆抛光面型控制模型为包括生成器和判别器的生成对抗网络模型，晶圆抛光面型控制模型的训练方法包括：获取历史加工数据；其中，历史加工数据至少包括不同阶段的实际工艺控制参数、抛光前面型曲线数据和期望面型曲线数据；将抛光前面型曲线数据和期望面型曲线数据输入生成器，输出预测工艺控制参数；将预测工艺控制参数和实际工艺控制参数输入判别器，分别输出对预测工艺控制参数和实际工艺控制参数的真假判别结果；基于真假判别结果对晶圆抛光面型控制模型的参数进行迭代更新。通过上述方式，能够提高晶圆抛光面型的控制精度和生产效率。