基于激光衍射成像的智能缺陷检测系统

基于激光衍射成像的智能缺陷检测系统，涉及光学检测技术领域。本发明是为了解决光学检测中随着检测波长的缩短，检测光束极易被透镜等光学元件吸收，且光学分辨率低的问题。本发明所述的基于激光衍射成像的智能缺陷检测系统，光学衍射单元用于采集被测晶片表面的衍射信息，并发送至所述深度学习驱动的缺陷识别与分类单元中，所述深度学习驱动的缺陷识别与分类单元用于利用深度学习网络模型对衍射信息中的缺陷进行特征提取和分类，进而实现被测晶片的检测。