摘要
本发明属于光子集成电路系统领域,公开了一种光学偏振分束器,所述光学偏振分束器包括隔离层、设于隔离层上的波导芯层;波导芯层从一侧至另一侧依次形成有第一光传输段、偏振段和第二光传输段,所述第一光传输段形成有间隔设置的光输入段和反射光输出段,所述第二光传输段至少包括折射光输出段;所述偏振段形成有至少一组条带状凹槽;所述一组条带状凹槽包括相交设置的第一凹槽段和第二凹槽段。所述光学偏振分束器能够达到对准TE0模式全反射和对准TM0透射的效果,从而实现偏振分束。单个周期就能实现对准TE0模式的全反射,从原理上避免了多周期阵列,极大地降低了分束器的结构复杂度和分束器的尺寸。
技术关键词
偏振分束器
亚波长光栅结构
光子集成电路系统
凹槽
聚甲基丙烯酸甲酯
波导
反射光
模式
硅氧烷
光刻胶
砷化镓
周期
衬底
碳化硅
复杂度
阵列
芯片
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