一种半导体光学检测系统

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一种半导体光学检测系统
申请号:CN202510450901
申请日期:2025-04-11
公开号:CN120334243A
公开日期:2025-07-18
类型:发明专利
摘要
本发明涉及半导体光学检测技术领域,本发明公开了一种半导体光学检测系统,包括:沿着第一方向依次设置的上料组件、检测组件和下料组件;检测组件包括检测工作台,检测工作台上设置有多个沿着第二方向依次设置的传送组件,传送组件沿着第一方向延伸,多个传送组件的检测工位在第二方向上依次分布;检测器组件包括检测Y轴移动模组和检测器,检测Y轴移动模组沿着第二方向延伸并设置在多个传送组件的上方,检测Y轴移动模组安装在检测工作台上,检测器滑动安装在检测Y轴移动模组上并能够沿着第二方向在多个传送组件的检测工位的上方移动;其中,第一方向和第二方向相互垂直。
技术关键词
移动模组 光学检测系统 传送组件 工位 下料抓手 上料抓手 检测器组件 支撑组件 Y轴 半导体 输送轨道 拉压力传感器 驱动件 芯片 移动轨道 收料支架
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