基于忆阻器射频开关的电子标签及其制作方法

本发明公开了基于忆阻器射频开关的电子标签及其制作方法，主要解决传统电子标签插入损耗大、隔离度和工作频率较低，导致性能不佳的问题。包括：柔性基底、电感线圈、RFID芯片以及忆阻器射频开关，柔性基底上连接RFID芯片的电感线圈穿过开关，该开关包括柔性基底、金属粘附层、底部和顶部电极；其中顶部电极为上下台阶形成的台阶型，且顶部电极下方设有阻变层材料；上台阶、阻变层材料和底部电极自上而下分布构成忆阻器；通过PSPI光刻工艺实现电子标签和开关的集成，完成电子标签的制作。本发明制作的电子标签具有低插入损耗和高隔离度，具备小型化、响应速度快，且工作频率和截止频率高的特性，能够显著增强柔性电子设备的连接性。