GSG探针Z向位移自动化测量方法、电子设备及存储介质

本发明提供GSG探针Z向位移自动化测量方法、电子设备及存储介质，属于精密机械技术领域。测量方法包括用定焦镜头捕捉探针的针尖和晶圆的位置，将定焦镜头分别对探针和晶圆聚焦，获取针尖在定焦镜头内成像时，定焦镜头的第一高度，以及获取晶圆在定焦镜头内成像时，定焦镜头的第二高度，通过第一高度与第二高度之间的差值，获取探针移动至晶圆以对晶圆进行测试所需的目标距离。本发明的测量方法能够减少在目标距离的测量过程中人工的依赖，提高目标距离测量效率和稳定性。