一种面向芯片键合集成处理单元的视觉引导方法

本发明公开了一种面向芯片键合集成处理单元的视觉引导方法，采集具有圆形特征图案的标定板的图像，圆形特征在二维像素平面上投影为椭圆；对采集的图像进行亚像素级边缘检测，提取投影椭圆的亚像素边缘特征坐标；基于提取的亚像素边缘特征坐标，利用改进的高斯曲面拟合方法对椭圆进行拟合，修正椭圆偏心误差。