摘要
本发明提供一种微型发光二极管芯片,包括微台面阵列,包括多个微台面;其特征在于,每个微台面包括:从下往上依次堆叠的第一类型半导体层、发光层和第二类型半导体层;第一类型和第二类型不同;底部金属层,位于微台面底部;底部介质层,位于所述底部金属层的底部;底部介质层具有沟槽;第一底部接触孔,位于底部介质层中且位于底部金属层底部且第一底部接触孔与底部金属层接触;侧壁介质层,位于微台面的侧壁和底部金属层侧壁;顶部导电层,连续覆盖于所述微台面顶部表面、侧壁截止层表面,以及相邻的微台面之间的区域;第二底部接触结构,位于沟槽内,且位于相邻的微台面之间的底部介质层中,且不与所述底部金属层接触。
技术关键词
微型发光二极管芯片
底部接触结构
顶部导电层
半导体层
铝掺杂氧化锌
介质
沟槽
驱动背板
台面结构
接触孔
氟掺杂
氧化铟锡
石墨烯
阵列
交叉点
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