微流道式压振复合光纤F-P传感器及其制备方法

本发明涉及一种微流道式压振复合光纤F‑P传感器及其制备方法，传感器包括第一结构层、第二结构层和第三结构层，第三结构层包括硅片，硅片上设置有微流道组、进水孔和光纤通道孔，进水孔贯通硅片且与微流道组连通，第二结构层包括玻璃片，玻璃片的外周边缘设置有若干腔孔和光纤通道槽，光纤通道槽与一部分腔孔贯通，玻璃片的一侧贴合硅片的一侧使腔孔的一端与微流道组的外周连通，第一结构层包括硅层膜片，硅层膜片一侧贴合玻璃片另一侧将腔孔另一端封闭使腔孔形成F‑P腔体，一部分F‑P腔体内贴合有质量块，本发明通过微流道组与腔体相连通，当水通过进水孔进入微流道组内，微流道组一端的腔体内空气被压缩，压强增大，降低了腔体内外压差。