一种基于3D封装的光引擎以及封装方法

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一种基于3D封装的光引擎以及封装方法
申请号:CN202510463323
申请日期:2025-04-14
公开号:CN120085422A
公开日期:2025-06-03
类型:发明专利
摘要
本申请提供一种基于3D封装的光引擎以及封装方法,包括光芯片、电芯片、光纤模块、以及散热基板;散热基板包括主体部以及伸出光芯片设置光口的侧面的凹陷部;所述光芯片包括第一面和第二面,所述光芯片的第一面与电芯片的第二面连接,所述光芯片的第二面粘接在散热基板主体部,所述光纤模块底部粘接在散热基板的凹陷部。电芯片是放置在高频基板材料上,基板材料的膨胀系数与芯片类似,能够保证键合之后芯片的可靠性;利用顶部外加散热基板使PIC与FA共面封装,并为FA提供多个粘接面,解决了PIC、FA之间因热应力相对位置不匹配的困难。
技术关键词
散热基板 光芯片 光纤模块 电镀种子层 低温焊料 封装方法 凸点下金属化层 重布线层 高频基板材料 涂敷光刻胶 去胶工艺 光电芯片 显影工艺 光信号 UV固化
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