摘要
本申请提供一种基于3D封装的光引擎以及封装方法,包括光芯片、电芯片、光纤模块、以及散热基板;散热基板包括主体部以及伸出光芯片设置光口的侧面的凹陷部;所述光芯片包括第一面和第二面,所述光芯片的第一面与电芯片的第二面连接,所述光芯片的第二面粘接在散热基板主体部,所述光纤模块底部粘接在散热基板的凹陷部。电芯片是放置在高频基板材料上,基板材料的膨胀系数与芯片类似,能够保证键合之后芯片的可靠性;利用顶部外加散热基板使PIC与FA共面封装,并为FA提供多个粘接面,解决了PIC、FA之间因热应力相对位置不匹配的困难。
技术关键词
散热基板
光芯片
光纤模块
电镀种子层
低温焊料
封装方法
凸点下金属化层
重布线层
高频基板材料
涂敷光刻胶
去胶工艺
光电芯片
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光信号
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