一种面板行业站点合并工艺流程的方法及系统

一种面板行业站点合并工艺流程的方法及系统。本发明涉及光刻机产线加工技术领域，提供了一种用于站点合并的自动过站处理方法和系统。在上下料机和设备之间配置文件变更通知机制；其中，文件变更通知机制用于在文件变更时，通知设备在本地存储多站点信息，设备配置有基于Recipe机制的多站点检测机制；通过设备接收目标产品被多站点检测机制检测的多站点特定事件，并生成日志文件；通过MES接收日志文件执行站点自动过站。在本申请中，当产品进入产线之后，设备本地存储多站点信息，可以快速切换不同产品的检测参数，尤其适用于多品种、小批量的柔性生产需求。通过多站点特定时间，可以实现异常事件或者事故故障等精准定位。