摘要
本发明涉及集成电路混合集成电路封装技术领域,尤其涉及一种高可靠高密度混合集成封装结构,所述封装结构由陶瓷基体、芯片、无源器件、金属环框和盖板,陶瓷基体、金属环框和盖板组成气密性腔体;所述陶瓷基体为立方体结构,除底部外的正面或侧面用于安装芯片或无源器件,所述金属环框置于陶瓷基体正面或侧面包围芯片或无源器件,所述盖板置于金属环框之上并实现气密封装。本发明的高可靠高密度混合集成封装结构具有高性能、高可靠、高密度、小型化、性能稳定、使用寿命长的优点。
技术关键词
混合集成封装结构
金属环
高密度
气密性腔体
基体
立方体结构
电气互连
无源器件
芯片
混合集成电路
氮化铝陶瓷
氧化铝陶瓷
正面
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高性能
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