一种超精密平面加工工艺

本发明涉及平面加工技术领域，提供了一种超精密平面加工工艺，包括以下步骤：S1、测量工件的厚度分布情况，确定工件上各点的去除量；S2、根据测量结果，选择对应的配套算法，计算工件上各点在研磨盘上的驻留时间分布或行走速率分布，并生成控制运动机构动作的运动指令；S3、将工件安装在运动机构上，并使得工件的待加工面与研磨机上的研磨盘盘面紧密贴合；S4、启动研磨机，同时将运动指令输入运动机构中，运动机构按照步骤S2中的运动指令控制工件在研磨盘上运动；S5、运动机构停止动作，关闭研磨机，取下工件并测量其厚度分布情况；S6、根据测量结果，选择结束加工或重复步骤S2到步骤S5，直到工件的厚度分布情况满足误差要求。