一种利用二次离子质谱检测GH4169高温合金中痕量元素的方法

本发明公开了一种利用二次离子质谱检测GH4169高温合金中痕量元素的方法，具体包括以下步骤：A1、首先，将GH4169高温合金样品进行必要的预处理，以去除表面污染和氧化层；A2、选用飞行时间二次离子质谱仪，设置合适的分析参数，并选用双等离子体O2+离子源，本发明涉及金属材料痕量化学成分分析技术领域。该用于利用二次离子质谱检测GH4169高温合金中痕量元素的方法，通过优化GH4169高温合金的样品预处理工艺、创新性配置飞行时间二次离子质谱仪的双等离子体O2+离子源与低能电子枪电荷补偿系统，结合深度剖析与三维重构算法，显著提升了痕量元素检测的灵敏度、空间分辨率及数据可靠性。