基于离子束修形与自适应检测的高精度光学元件加工系统

本发明公开了基于离子束修形与自适应检测的高精度光学元件加工系统，该光学元件加工系统上包括离子束加工模块、自适应光学检测模块、智能控制模块，离子束加工模块上包括离子源系统、六轴联动工件台，自适应光学检测模块上包括波长调谐干涉仪、哈特曼波前传感器，智能控制模块上包括加工路径优化单元、应力补偿单元，该系统通过哈特曼波前传感器与波长调谐干涉仪在线检测，实现加工误差的亚纳米级实时反馈，突破传统离线检测的滞后性，解决超薄元件加工变形问题，支持非球面、离轴抛物面、微透镜阵列等异形元件加工，并且模块化设计允许替换检测模块或加工模块，适配不同材料。