一种基于代理模型辅助混合遗传算法的光刻模型标定方法

本申请属于计算光刻领域，具体公开了一种基于代理模型辅助混合遗传算法的光刻模型标定方法，包括确定光刻模型的待优化参数，根据待优化参数生成初始种群；对当前种群进行并行仿真，得到当前种群的光刻模型仿真结果；对当前种群进行并行评估，得到当前种群的光刻模型评价指标与适应度分布；筛选当前种群中的优秀个体构建代理模型并进行最优预测，得到第一类个体；筛选当前种群中的优秀个体并进行交叉和变异，得到第二类个体；将第一类个体和第二类个体进行组合，对下一代种群并行仿真和评价并进行循环迭代更新，直至满足预设终止条件，得到最优个体的光刻模型参数集。通过本申请可简化光刻模型标定流程，提高自动化、精度效率及全局搜索能力。