用于聚焦离子束设备的自适应误差补偿方法及系统

本发明提供一种用于聚焦离子束设备的自适应误差补偿方法及系统，通过获取聚焦离子束设备在加工过程中产生的实时误差信号集合，根据实时误差信号集合训练自适应误差补偿模型，生成误差补偿参数集合，将误差补偿参数集合输入至聚焦离子束设备的控制单元，生成实时补偿控制指令集合；根据实时补偿控制指令集合调整聚焦离子束设备的离子源参数和偏转电极电压参数，输出调整后的离子束路径参数集合；根据调整后的离子束路径参数集合对目标加工区域进行离子束加工，并实时监测加工后区域的形貌特征数据以验证误差补偿效果。本发明可以消除由于热效应、电场或磁场产生的有害影响，确保了补偿策略的自适应性和长期可靠性。