一种不破坏真空可实现电子束蒸发设备坩埚补料的方法

本发明公开了一种不破坏真空可实现电子束蒸发设备坩埚补料的方法，涉及超导量子计算技术领域，本发明的不破坏真空可实现电子束蒸发设备坩埚补料的方法，显著提升了生产效率，传统的电子束蒸发设备在坩埚原料耗尽需要补料时，往往要破坏镀膜腔的真空环境，随后重新抽真空这一过程极为耗时，使得设备长时间处于闲置状态，而本方法，凭借其独特的上下双层坩埚设计、可伸缩机械臂、滑动轨道以及衬板的协同配合，能够实现在不破坏真空的前提下完成坩埚换料，这意味着镀膜过程可连续进行，无需频繁中断等待重新抽真空，大大缩短了整体生产周期，让设备在单位时间内能够完成更多的薄膜蒸镀任务，有效提高了工业生产的产出量，为企业带来更高的经济效益。