晶圆缺陷的检测方法、装置、计算机设备和存储介质

本发明涉及一种晶圆缺陷的检测方法、装置、计算机设备和存储介质，涉及半导体检测技术领域，该晶圆缺陷的检测方法中，由于多个第二图像是沿预设扫描路径进行扫描的，相比于抽样检测更加精准。并且基于整体的第一图像获取了晶圆的宏观缺陷，然后再基于局部的第二图像获取了晶圆的微观缺陷，根据第一图像与多个第二图像来判断晶圆上的目标缺陷点，即将宏观缺陷与微观缺陷综合判断晶圆上的目标缺陷点，相比于现有的单独检测更加全面和准确。并且整个检测过程自动检测，自动识别，提高了检测效率。