离子束抛光多工况去除函数获取方法

本发明提供一种离子束抛光多工况去除函数获取方法，包括：根据待加工光学面形和规划的离子源相对面形的运动轨迹，确定抛光加工任务中离子束入射角度、加工距离的变化范围；进行有限次数的单点刻蚀实验，检测工件单点刻蚀实验后的面形；计算加工量分布，基于加工量分布数据和加工时间计算考虑了离子束入射角度和加工距离的去除函数；将去除函数作为训练数据对人工神经网络进行训练；基于训练好的神经网络根据实际加工任务需求获取去除函数拟合参数对，对去除函数拟合参数对进行逆处理，得到实际加工点的去除函数。本发明获取的去除函数考虑了多工况条件下的影响，更能满足当下对高表面斜率或多种非平面光学面形的高精度加工需求。