抗高过载MEMS惯性测量单元和惯性组合导航系统

本发明属于测量元件技术领域，提供了一种抗高过载MEMS惯性测量单元，所述抗高过载MEMS惯性测量单元包括外壳、一级减振组件、芯体、二级减振组件、测量组件和三级减振组件，外壳内部设有容纳腔；一级减振组件包括若干一级减振垫，且间隔设在所述外壳外侧底部；芯体设在所述容纳腔内；二级减振组件包括若干二级减振垫，且间隔设在所述芯体和所述容纳腔内壁之间，用来支撑所述芯体；测量组件与所述芯体连接；三级减振组件包括若干三级减振垫，所述三级减振垫夹设在所述测量组件与所述芯体之间；其中，所述一级减振垫的硬度>二级减振垫的硬度>三级减振垫的硬度。还提供了一种惯性组合导航系统包括上述的惯性测量单元。