一种时序调制高压脉冲功率发生器及其时序调制方法

本发明公开了一种时序调制高压脉冲功率发生器及其时序调制方法，该发生器包括充电单元、储能单元、触发控制单元、开关单元、输出状态诊断单元和时序调制控制单元；输出状态诊断单元，用于实时采集负载的电流和电压；时序调制控制单元，用于生成分段式开关延时触发调控策略，具体包括：在前沿阶段，使负载的电压快速达到设定阈值，再启动渐进式延时补偿算法使电压达到目标电压；在平顶阶段，基于电流变化率以及实际电压与目标电压的差值，通过模糊‑PID混合控制器输出开关器件驱动信号延时，同时根据负载阻抗变化趋势调整积分系数，最后基于调整后的积分系数输出开关器件驱动信号延时。本发明能够针对非线性阻抗负载特性进行高效稳定的时序调制。