一种基于神经网络的薄膜反射信号快速解调系统及方法

本发明公开了一种基于神经网络的薄膜反射信号快速解调系统及方法，该解调系统包括仿真训练集系统、光谱测量系统和神经网络系统，通过使用仿真训练集系统中的反射率信号数据集来训练神经网络系统，训练后的神经网络系统可以直接解调光谱测量系统采集、计算得到的薄膜反射率光谱，进而获得薄膜的光学厚度信息；该解调方法通过Y型光纤将卤素光源照射到被测物体表面，使用光谱仪对反射回来的光谱信息进行同步收集，采用神经网络系统解调包含薄膜厚度信息的光谱信号，计算出薄膜上下表面的光程差，将光程差除以薄膜材料的折射率即可得到薄膜的物理厚度，该方法在无需设定初始值的基础上，提高了解调速度，同时避免了局部最优解的问题。