金属层图形的优化方法及系统、计算机可读介质、图形修正方法

AITNT
正文
推荐专利
金属层图形的优化方法及系统、计算机可读介质、图形修正方法
申请号:CN202510507643
申请日期:2025-04-22
公开号:CN120611696A
公开日期:2025-09-09
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种金属层图形的优化方法及系统、计算机可读介质、图形修正方法,属于半导体领域。该金属层图形的优化方法包括选取金属层图形中符合设计规则的最小图形;扩大处理之后的最小图形满足设计规则;将扩大处理之后的最小图形优化为条状图形,其中,所述条状图形的面积与扩大处理之后的最小图形的面积相同,所述条状图形的长宽比满足设定阈值。本发明通过将金属层图形中符合设计规则的最小图形扩大处理之后,优化成条状图形,条状图形的面积与最小图形扩大处理之后的面积相同,能够保持了图案主体的正常形态,避免金属层图形形成的轮廓失真,提高元件之间接触的容错值,更好地实现各个元件之间的电子传输,提升芯片良率。
技术关键词
图形修正方法 长宽比 光学临近修正 图案主体 长方形 计算机 介质 半导体 元件 良率 模块 轮廓 形态 芯片 电子 程序 尺寸
系统为您推荐了相关专利信息
1
用于镀锌管材制作用干燥装置
镀锌管材 干燥装置 防爆热风机 卧式底座 法兰板
2
一种基于机器视觉的长直导轨微小异物自动检测方法
注意力卷积神经网络 自动检测方法 热力图 导轨 视觉
3
一种处理布匹瑕疵上报信息的管理平台滤波方法
布匹瑕疵检测装置 梯度共生矩阵 滤波方法 位置检测误差 图像采集速度
4
用于O型圈尺寸测量和外观检测的方法
内部缺陷检测 O型圈 缺陷类别 深度学习模型 融合策略
5
基于语义分割的舌头真实物理尺寸测定方法与装置
值测定方法 圆形垫圈 尺寸测定方法 像素点 测量仪
添加客服微信openai178,进AITNT官方交流群
驱动智慧未来:提供一站式AI转型解决方案
沪ICP备2023015588号