一种半导体材料多光谱光学表征系统及方法

本申请公开了一种半导体材料多光谱光学表征系统及方法，可应用于光谱检测技术领域，该系统包括：宽光谱光源、光路分束组件、光谱仪、探测器以及计算机；宽光谱光源用于产生照射光束并将照射光束射向光路分束组件；光路分束组件用于将照射光束导向至待测样品，并将信号光束导向至光谱仪；光谱仪与计算机连接，用于接收调制控制信号，并根据调制控制信号对信号光束进行调制，产生调制光束并汇聚至探测器；探测器用于接收调制光束，将其转换为电信号，并将该电信号传输至计算机；计算机用于接收电信号，并基于深度学习对电信号进行分析，得到待测样品的表征结果。如此，结合深度学习技术进行光谱分析，提高了半导体材料的表征结果的精准度。