一种药液浓度自动控制校正方法与系统

本发明涉及半导体制造技术领域的一种药液浓度自动控制校正方法与系统，包括：若浓度偏差超过预设的阈值，则通过实时监测数据与化学平衡模型对比，获取反应速率的偏移量，判断补液量和调整时机的具体参数；采用比例‑积分控制算法结合触发条件和补液参数，对药液浓度进行动态调节，针对温度波动引入补偿因子，得到调整后的浓度控制指令；通过液位检测装置同步采集清洗槽内液位分布数据，结合调整后的浓度控制指令，判断药液在槽内的均匀性是否达到预设标准；通过连续采集稳定分布结果与初始数据集的对比，判断控制精度和响应速度的优化程度，获取动态调节后的浓度波动范围和均匀性指标。