一种环己酮浓度实时监控与自动调节方法与系统

本发明涉及半导体技术领域的一种环己酮浓度实时监控与自动调节方法与系统，包括：根据平滑后的浓度值与预设的阈值进行比较，若浓度值超出安全范围，则生成异常信号并记录时间戳，通过异常信号确定触发后续操作的条件；获取异常信号后向控制模块发送指令，针对指令内容激活补水排液装置，从装置状态反馈中判断操作是否成功执行，得到执行结果数据；通过执行结果数据分析补水排液装置的响应时间与流量变化，采用动态调整算法更新控制参数，针对更新后的参数确定下一次操作的精确指令；从浓度监控模块中提取连续的浓度变化趋势数据，针对变化趋势判断系统是否恢复至安全范围，得到当前的稳定性评估值。