摘要
本发明提供一种凸点焊盘的形成方法、凸点焊盘,属于半导体器件技术领域,方法包括:于半导体器件的焊盘上形成多个凸点结构;其中,凸点结构的材质与半导体器件的生产过程中的介质层的材质相同。有益效果:通过在焊盘上形成与介质层材质相同的凸点结构,降低了化镀后金属焊盘表面光滑度,增加了焊盘粗糙度,在烧结封装中有效减少了胶丝残留,提高了封装可靠性和成品率;而且,在芯片制造过程中无需额外增加任何的工艺流程,兼容介质层工艺即可在金属焊盘上形成3D凸点,简单高效,降低了后续烧结封装的制造成本和难度。
技术关键词
凸点结构
介质
掩膜
聚酰亚胺层
金属镀层
半导体器件技术
刻蚀工艺
焊盘表面
图案
十字形
多边形
椭圆形
星形
光刻
粗糙度
芯片
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