一种利用液体层实现石英玻璃连接的激光焊接方法

本发明涉及一种基于液体中间层的非光学接石英玻璃激光焊接方法，属于激光微纳连接技术领域。针对现有激光焊接技术难以实现非光学接触石英玻璃高强度连接的问题，提出通过在叠层玻璃界面构建液体中间层的解决方案。在两片自然叠放的石英玻璃板间注入含有硝酸银、柠檬酸三钠和氨水的前驱体溶液，利用毛细作用实现间隙自平衡调控；随后采用飞秒激光定速扫描，通过光化学还原反应将银离子原位转化为银纳米颗粒；借助银纳米颗粒的局域表面等离子体共振效应，显著提升激光能量利用率；本方法采用低能量密度激光实现大间隙石英玻璃的高强度连接，为MEMS传感器封装与光子芯片集成提供了简单实用的连接方法。