摘要
本发明公开一种降低声表面波滤波器插入耗损的方法,涉及滤波器处理技术领域,所述方法包括:收集用于声表面波滤波器的压电材料,测量材料参数,计算材料本身的损耗;根据压电材料参数基于拓扑优化算法形成声表面波滤波器初始电极布局方案;基于初始电极布局结构,计算电极间耦合系数,根据电极间耦合系数计算并降低滤波器插入损耗;将电极参数导入耦合模拟软件,模拟多物理场作用下的声表面波在滤波器中的传播过程,优化滤波器性能;制造优化后的声表面波滤波器,计算理论制造过程中的损耗,根据理论损耗和实际损耗调整优化制造工艺。本发明通过选取本身损耗低的压电材料和不断调整电极的布局结构从而降低声表面波滤波器的插入耗损。
技术关键词
声表面波滤波器
压电材料
电极布局结构
物理场相互作用
参数
滤波器插入损耗
数值优化算法
理论
软件
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基底
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