摘要
本发明涉及激光器技术领域,尤其涉及一种光子晶体半导体激光器,包括:泵浦腔,泵浦腔由顶部侧壁、底部侧壁和环形侧壁围成,顶部侧壁具有出光窗口,底部侧壁呈曲面形;设置在出光窗口的增益芯片,增益芯片包括沿远离底部侧壁的方向依次排布的衬底、有源层、窗口层以及光子晶体结构,光子晶体结构具有多个孔洞;反射镜,反射镜设置在底部侧壁朝向泵浦腔的表面,且反射镜与增益芯片正对,反射镜用于与光子晶体结构构成谐振腔;多个泵浦单元,多个泵浦单元设置在底部侧壁朝向泵浦腔的表面,且多个泵浦单元在反射镜的外周环形排布。本发明至少有利于在实现大面积且均匀的载流子注入的前提下,降低光子晶体半导体激光器的制备难度,以及实现紧凑布局。
技术关键词
光子晶体结构
散热结构
反射镜
泵浦腔
芯片
发射泵浦光
衬底
增透膜
环形
激光器技术
谐振腔
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