声激振液滴形微气泡驱动的微流控芯片及制作工艺

本发明涉及声激振液滴形微气泡驱动的微流控芯片及制作工艺。通过微流控芯片结构设计获得液滴形微气泡阵列，微气泡在声波激励下发生振荡生成非对称的声流漩涡，进而对微流道中的微流体产生定向驱动的作用。通过调节驱动电压可线性控制流速，具有非接触、无污染、高效定向驱动等优势。制作工艺基于MEMS技术，采用氮等离子体键合及软光刻工艺，成本低且适合批量生产。本发明解决了传统对称声流漩涡缺乏方向性的问题，可广泛应用于生物医学、药物输送及化学分析等领域。