一种快速反射镜振动环境下锁止精度的测量装置及方法

本发明涉及光学测量技术领域，特别涉及一种快速反射镜振动环境下锁止精度的测量装置及方法，测量装置主要包括光斑发生器、快速反射镜系统、标准镜、高速相机、开关电源、快速反射镜振动工装、图像采集卡以及数据处理单元，由光斑发生器发射光束，分别照射在快速反射镜本体与标准镜上，由高速相机捕获快速反射镜本体与标准镜反射的光束，在高速相机上成像，通过图像采集卡传输高速相机捕获的光斑，在由数据处理单元对传输的图像进行处理。本发明用以解决现有测量方法存在的，测量结果准确性、搭建测试系统复杂、测量方法成本高以及难以实时动态测量等问题，实现对快速反射镜振动锁止精度的高精度、实时动态测量。