摘要
本申请公开了一种LED芯片及其制作方法,该制作方法包括:在衬底一侧形成N型层,N型层包括层叠的第一组成层、第二组成层和第三组成层,第一组成层为N型掺杂的GaN层,第二组成层为非掺杂的AlGaN层,第三组成层包括非掺杂的AlGaN层与N型掺杂的GaN层组成的超晶格层;在N型层远离所述衬底一侧形成量子阱有源层;在量子阱有源层远离N型层一侧形成P型层。该LED芯片及其制作方法可以通过在第二组成层中,利用Al原子替位作用带来的晶格失配致使位错发生弯曲,以使得N型层中的缺陷在此界面处减少或湮灭,从而到达屏蔽位错作用,提高N型层的生长质量,提高N型层的抗静电能力,最终提高LED芯片的抗静电能力和可靠性。
技术关键词
端点
LED芯片
衬底
应力释放层
周期性间隔
层叠
抗静电
界面
弯曲
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