一种探针卡水平校准方法及装置

本公开提供一种探针卡水平校准方法，包括：将大盖板置于初始位置，使大盖板相对于工作盘的平面度小于第一预设值；在所述大盖板上装载探针卡，在所述工作盘上装载待测晶圆；在所述待测晶圆上选择参考点；采集所述参考点对应探针的三维位置信息并计算所述探针卡的平面度；当平面度大于第二预设值时，拟合由所述参考点对应探针形成的平面方程并计算所述多个可调位点的高度调整值，进而执行高度调整。本公开提供的方法及装置可以实现探针卡的快速、高精度水平校准。