一种高稳定性高精度压力控制的抛光装置

本发明属于抛光装置技术领域，具体为一种高稳定性高精度压力控制的抛光装置，包括背板、伺服电机、音圈电机和抛光头，背板的顶部固定连接有顶板，背板的底部固定连接有固定连接板，顶板和固定连接板之间通过底板固定连接，背板的一侧固定连接有机械臂接口法兰；音圈电机的输出端转动连接有主轴。本发明伺服电机转轴不与主轴直连，主轴通过花键轴承实现伸缩下压，一方面主轴通过花键轴上下移动时不附带电机的重量，可以有效改善抛光头自生惯性配置和自重分量导致的下压力变化，减小对力矩控制的影响，提高抛光精度；另一方面转速控制通过同步带传动并限制在花键轴承内，有效改善电机转动时的振动对抛光头的直接影响，使抛光效果稳定。