摘要
本实用新型涉及测试治具技术领域,尤其是涉及一种负压传感芯片测试装置和负压传感芯片测试系统。本实用新型负压传感芯片测试装置,包括:可升降支架,包括:底座;承载板,可升降地设置于底座上方;芯片卡槽座,固定于底座上方,其朝向上方的表面设置有芯片卡槽;探针座,固定于承载板下方,其朝向下方伸出N根测试探针,N≥1;密封胶圈,设置于芯片卡槽座上芯片卡槽的外侧,或探针座上N根测试探针的外侧;负压气道,开设于芯片卡槽座或探针座中,连接至负压口;其中,当探针座位于低位时,芯片卡槽座、探针座、密封胶圈共同围成密闭的测试腔室;当探针座位于高位时,测试腔室开放。本实用新型结构可替换性强,具有较强的适应性。
技术关键词
传感芯片
测试探针
探针座
可升降支架
密封胶圈
驱动结构
承载板
测试治具技术
腔室
背板
升降杆
底座
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