一种微振动传感器本底噪声测试及校准系统

本发明公开了一种微振动传感器本底噪声测试及校准系统，该系统包括安装在隔声隔振装置内的一级隔振和二级隔振，固定在振动发生装置上的微振动传感器，以及激光干涉仪；隔声隔振装置外部的计算机、数据采集卡和控制器与内部的振动发生装置依次电连接，激光干涉仪、微振动传感器通过数据采集卡与计算机电连接。传感器校准过程中，包括驱动水平/垂直振动台产生正弦运动，采集激光干涉仪与传感器测量数据，利用变分模态分解算法去除噪声，再利用去噪后的信号解算出灵敏度。本发明能精确测量微振动传感器的本底噪声，有效抑制环境噪声对微振动测量的干扰，系统结合变分模态算法进行去噪处理，为传感器校准的精度和稳定性提供了可靠保障。