一种适用于非球面针尖样品的三维原子探针数据重构方法

本发明涉及材料表征技术领域，具体为一种适用于非球面针尖样品的三维原子探针数据重构方法，本发明克服了基于球面假设的三维重构方法在处理复杂形状针尖样品时的局限性，通过对激光脉冲激发模式下和多相材料在实验过程中的动态形貌演化的观测和拟合，实现非球面针尖样品的精准重构，提高后续样品微结构形貌和成分信息分析的准确程度。本发明优化后三维重构方法可以有效提高三维原子探针数据重构的精确度，使其对材料中微结构如GP区、晶界等微结构的形貌、成分等分析精度显著提升。