一种高精度涡旋光栅干涉位移传感器及其工作方法

本发明公开了一种高精度涡旋光栅干涉位移传感器及其工作方法，包括边发射激光芯片、微纳螺旋相位板、道威棱镜、反射镜、盖板、光电探测器、封装基体等，采用光机电集成结构设计。所述发射激光芯片的两端有微纳螺旋相位板，左侧激光经过微纳螺旋相位板后成为涡旋光束，右侧激光经过微纳螺旋相位板、道威棱镜后成为与左侧激光共轭的涡旋光束，左右两侧共轭涡旋光束经反射镜、透镜后入射至光栅，经过光栅衍射后，左右两侧共轭涡旋光束的衍射光束汇合相干，涡旋干涉光场被光电探测器接收，进而从相干光场中解析出光栅位移。本发明实现了涡旋光干涉位移传感器的微型化，适用于精密运动模组、精密仪器等领域受限空间场景下的高精度位移测量。